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日本新宇宙COSMOS XP-703D半导体特气检漏仪

简要描述：泰立仪器代理销售 日本新宇宙COSMOS XP-703D半导体特气检漏仪--Z适合于检测半导体特气的微量泄漏--采用声光报警，咨询。

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  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2023-03-15
  • 访  问  量：1151
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详细先容

品牌New Cosmos/日本新宇宙

 日本新宇宙COSMOS XP-703D（自动吸引式）半导体特气检漏仪

概况:

--于检测半导体特气的微量泄漏
--采用声光报警

 

日本新宇宙COSMOS XP-703D（自动吸引式）半导体特气检漏仪技术参数:

检测对象气体

半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）

检测原理

型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度

（单位：ppm）

砷烷、磷烷、乙硼烷、硅烷、氢气

AsH3、PH3、B2H6、SiH4、H2

0.2、0.3、0.1、0.5、1.0

检测表示

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